칼슘구리티타늄 산화물 기반의 유전체 박막 및 그 제조방법

Title
칼슘구리티타늄 산화물 기반의 유전체 박막 및 그 제조방법
Issue Date
2015-04-27
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 고유전율과 낮은 유전손실 특성을 갖는 칼슘구리티타늄 산화물 기반의 유전체 박막 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 칼슘구리티타늄 산화물 기반의 유전체 박막은 유전체 박막이 CaxCuyTizO12(0003c#x003c#2, 2003c#y003c#4, 3003c#z003c#5), CuO 및 TiO2가 혼합되어 이루어지며, 상기 유전체 박막 내에서의 Ca, Cu, Ti의 원자조성비가 Ca : Cu : Ti = 0.6∼1.4 : 2.9∼3.8 : 4.5 이다.
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KIST Patent > 2015
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