다이아몬드박막의집합조직방향조절방법

Title
다이아몬드박막의집합조직방향조절방법
Issue Date
1992-11-23
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 기상으로부터 합성된 다이아몬드의 성장시 빠른 성장속도를 갖는 입자의 결정방향을 조절하여 다이아몬드의 집합조직(texture) 방향과 박막의 표면을 구성하는 성장면(facet)의 종류를 조절하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기상합성방법을 이용하여 다이아몬드 박막을 형성함에 있어서 증착온도 750℃에서 l100℃의 범위에서 수소와 탄화수소의 혼합기체에 산소를 소량 첨가하여 빠른 성장속도를 갖는 다이아몬드 입자의 결정방향을 조절하여 집합조직의 방향과 박막표면 성장면의 종류를 변화시키도록 구성된다. 본 발명은 다이아몬드의 박막에서 잔류응력, 내마모성, 열전도성, 전자특성등의 여러특성에 영향을 미치는 집합조직의 방향과 성장면의 종류를 임의로 변화시킬 수 있다는 이점이 있다.
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