다이아몬드합성용고온필라멘트화학증착장치의필라멘트설치방법

Title
다이아몬드합성용고온필라멘트화학증착장치의필라멘트설치방법
Issue Date
1992-11-23
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법에 관한 것이다. 본 발명은 고온 필라멘트 화학증착장치의 가동시 탄화나 열팽창에 의해 필 라멘트의 길이 변화가 발생하여 초래되는 필라멘트의 길이변화를 흡수하기 위한 방편으로 전극사이에 설치되는 필라멘트의 양측단부중 적어도 일측의 결합부가 전극에 대해 상대적인 슬라이딩이 가능하도록 필라멘트를 설치하는 방법에 기술적 특징이 있다. 본 발명의 필라멘트 설치방법은 탄화나 열팽창에 의한 필라멘트의 길이변화가 흡수되어 필라멘트에 압축응력을 가하지 않기 때문에 뒤틀림등의 악영향을 배제할 수 있어 필라멘트의 안정화를 기할 수 있다는 효과가 있다.
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KIST Patent > ETC
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