보호포스파젠화합물을용해억제제로사용한삼성분계감광성수지조성물

Title
보호포스파젠화합물을용해억제제로사용한삼성분계감광성수지조성물
Issue Date
1992-08-25
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
방향환을 포함하는 알칼리 가용성 수지 100중량부에 대하여 t-BOC기로 보호된 포스파젠화합물을 5내지 40중량부와 광산 발생제를 1내지 20중량부로 조성된 보호 포스파젠 화합물을 용해억제제로 사용한 삼성분계 감광성 수지 조성물.
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KIST Patent > ETC
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