트리실라알칸화합물의열분해에의한베타형탄화규소미세분말의제조방법

Title
트리실라알칸화합물의열분해에의한베타형탄화규소미세분말의제조방법
Issue Date
1992-07-28
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 트리실라알칸 계열의 메틸클로로실라알칸들 그리고 메틸클로로실라알칸의 환원에 의해 합성되는 메실틸라알칸들을 출발물질로 하여 미세분말의 베타형 탄화규소를 제조하는 공정에 관한 것이다. 클로로메틸기를 가진 메틸염화실란들을 구리 촉매하에서 금속규소와 반응시키면 메틸클로로실라알칸들을 얻을 수 있으며 이들 메틸클로로실라알칸들을 리티음알루미늄하이드라이드나 나트륨하이드라이드와 반응시키면 규소와 염소의 결합이 규소와 수소의 결합으로 바뀌어 메틸실라알칸들을 얻을 수 있다. 이 메틸실라알칸들과 메틸클로로실라알칸들은 각각의 한가지 화합물만으로도 또는 다른 실라알칸과 두가지 이상 혼합하여 수소나 알곤과 같은 기체에 50%이하로 희석하여 750-1,600℃)에서 열분해시키면 구형의 베타형 탄화규소 미세분말을 제조할 수 있다.
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KIST Patent > ETC
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