실리콘용융접합을이용한센서용실리콘구조및그제조방법

Title
실리콘용융접합을이용한센서용실리콘구조및그제조방법
Issue Date
1991-11-21
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 실리콘용융접합(silicon fusion bonding)을 이용하여 실리콘기판쌍의 접합을 한 다음 공동형성측 기판에 대한 박판화를 하여 실리콘센서용 막구조나 들보구조를 제작하는 센서용 실리콘구조 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 센서용 실리콘구조의 제조과정은 먼저, 접합대상 실리콘판쌍중에 한쪽기판에 대하여 먼저 전기화학적 식각정지등의 방법으로 식각하여 공동을 형성한 다음 두기판을 실리콘 용융접합하고 이어서 공동형성측 기판을 박판화하여 실리콘막을 형성하는 형태로 이루어진다.이와같은 본 발명의 방법에 의해 제조된 센서용 실리콘구조에서는 기판간의 접합계면과 이격된 상태로 실리콘막이 위치함에 따라 접합계면에서 발생되는 결함의 전파로 인한 소자의 특성저하와 같은 악영향이 방지되는 효과가 있다.
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KIST Patent > ETC
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