이온클러스터빔을이용한레이저거울의제조방법

Title
이온클러스터빔을이용한레이저거울의제조방법
Issue Date
1994-10-01
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 레이저를 발생시키는 장비, 또는 레이저를 이용하는 장비에 필수적으로 장착되어야 하는 레이저 거울의 제조방법에 관한 것으로, 원자의 증착이 아닌 102 ∼ 103개 원자들의 모임인 덩어리를 이온화시키고 고전압을 걸어 가속화시켜서 기판을 때림으로서 기판에서 퍼지는 현상이 일어나도록 함으로써 1. 고밀도 금속 박막, 2. 고 평탄성 금속 박막, 3. 기판과 금속간의 고 접착력, 4. 제조한 금속 박막과 기판간의 예리한 계면 형성 등을 모두 만족하는 레이저 거울을 제작하도록 한 것이다.
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KIST Patent > ETC
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