고주파플라즈마화학증착법을이용한원형기판용코팅층의대량합성장치및합성방법

Title
고주파플라즈마화학증착법을이용한원형기판용코팅층의대량합성장치및합성방법
Issue Date
1994-08-17
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
고주파 플라즈마 화학 증착법을 이용하여 대량의 원형 기판을 한꺼번에 코팅할 수 있는, 원형 기판용 코팅층의 합성 장치 및 합성 방법에 관한 것이다. 상기 합성 장치는 반응기, 전원 공급계, 가스 공급계 및 진공계를 포함하고, 상기 전원 공급계는 다수의 고주파 전원을 포함하며, 상기 반응기는 상기 서로 다른 고주파 전원에 각기 연결된 다수의 전원 인가 전극과 다수의 시편 지지대 및 다수의 접지 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > ETC
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