다이아몬드상경질카본필름이이중코팅된VTR헤드드럼과그코팅층형성방법및장치

Title
다이아몬드상경질카본필름이이중코팅된VTR헤드드럼과그코팅층형성방법및장치
Issue Date
1994-07-26
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 고 경도 다이아몬드상 경질 카본 필름인 제 1코팅층 위에 저경도의 다이아몬드상 경질 카본 필름인 제 2코팅층이 합성되는 서로 다른 특성의 이중 막으로 코팅되는 헤드 드럼에 관한 것이다. 제 2코팅층의 경도는 제 1코팅층의 경도보다 작다. 상기 이중 코팅은 헤드 드럼이 적층되고 전원 전극에 부착되는 시편 지지대, 적층된 헤드 드럼의 표면으로부터 선정된 거리만큼 떨어진 동심원 상에 배치된 원형의 접지 전극을 포함하는 반응기를 갖고 있는 합성 장치에 의해 달성되며, 상기 시편 지지대는 헤드 드럼을 안정하게 적층하기 위한 공간 보상용 링을 포함한다.
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KIST Patent > ETC
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