질화규소막또는산화규소막으로코팅된고온용흑연실험용기및그의제작방법

Title
질화규소막또는산화규소막으로코팅된고온용흑연실험용기및그의제작방법
Issue Date
1994-07-20
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 흑연을 재질로 사용하고 그에 질화규소막 또는 산화규소막을 코팅한 흑연 실험 용기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 a) 시판되는 흑연을 기계가공하여 원하는 모양으로 성형하는 단계, b) 성형된 흑연을 화학증착 반응기에서 먼저 규소막으로 증착시킨 후 열처리하여 반응물 확산 방지막을 형성함으로써 코팅시키는 단계, 및 c) 코팅 작업이 완결되면 기체 분위기를 막의 종류에 따라 질소 혹은 산소로 맞추고 약 1시간 동안 600-900℃에서 열처리하여 존재할 수 있는 핀 홀(pin hole)을 제거하는 단계로 이루어진 흑연 실험 용기의 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의해 제작된 흑연 실험 용기는 급속 가열용 복사식 가열로를 사용하는 경우에 급속 가열의 효과를 최대한 살리기 위한 복사열 흡수능이 뛰어나며, 질화규소막이나 산화규소막을 화학증착범으로 코팅시켜 용기의 화학적 안정성을 높인 것으로, 그 성능면에 있어서나 가격면에 있어서 종래의 백금 용기 등과 비교하여 월등히 개선된 것이다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > ETC
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE