박막형전계발광소자의제조를위한비정질강유전성절연막의증착방법

Title
박막형전계발광소자의제조를위한비정질강유전성절연막의증착방법
Issue Date
1994-07-16
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 평면형 전계발광소자(Electroluminescent display; ELD)의 작동을 위하여 사용되는 산화막 절연막을 비정질(amorphouse)로 하여 증착온도를 낮추어 ITO와 증착 산화물 간의 계면 반응을 억제하고 또한 비정질 막의 고유한 특성인 유전강도의 증가와 소자로서 이용되었을 때 투명도의 증가를 도모하는 비정질 강유전성 절연막의 증착과 사용에 관한 것이다.
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KIST Patent > ETC
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