박막전계발광표시소자의복합유전층구조

Title
박막전계발광표시소자의복합유전층구조
Issue Date
1994-04-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 박막 전계발과 표시(thin film electroluminescent display) 소자의 절연층을 형성하는 유리박막에 관한 것임. 본 발명의 복합 유전층 구조는 투명전극인 인듐 팀 산화물(ITO)이 도포된 유리기판 위에 먼저 Si3N4, 실리콘 옥시나이트라이드(Silicon Oxynitride) 또는 SiAION으로 구성되는 버퍼층을 10∼100nm의 두께로 증착시킨 다음 버퍼층 위에 절연층으로서의 Ba1-xSrxTiO3(0<x<1)의 유리전막을 200∼400nm의 두께로 증착시킴에 의해 형성된다. 본 발명은 유리기판의 ITO층과 유리박막의 사이에 버퍼층이 형성됨에 따라 종래의 유전체에 비해 누설전류 및 파괴전계강도등의 전기적 특성면에서 우수한 효과를 발휘한다.
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KIST Patent > ETC
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