저전압형박막전계발광표시소자용유전박막및그제조방법

Title
저전압형박막전계발광표시소자용유전박막및그제조방법
Issue Date
1994-04-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 박말 전계발광 표시(thin film electroluminescent display) 소자를 구성하는 Ba1-xSrxTiO3조성의 유전박막에 관한 것이다. 본 발명의 유전박막은 투명전극 형성용 인듐 틴 산화물(ITO)이 도포된 유리기관위에 유리기판을 25∼550℃로 가열한 상태 Ba1-xSrxTiO3(0<x<1) 조성을 증착시키거나 상온 증착 후 열처리하는 방법에 의해서 얻어진다. 본 발명의 박말 전계발광 표시자용 유전박막은 기존의 유전체에 비해 훨씬 높은 유전율을 나타냄과 아울러 우수한 파괴 전계강도를 나타내는 장점이 있다.
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KIST Patent > ETC
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