열충격내성이개량된반도체웨이퍼처리용탄화규소피복흑연치구및그의제조방법

Title
열충격내성이개량된반도체웨이퍼처리용탄화규소피복흑연치구및그의제조방법
Issue Date
1993-11-27
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 흑연 기재와 탄화규소 피복층 사이에, 흑연 기재로부터 탄화규소 피복층에 이르기까지 탄화규소의 함량이 점진적으로 증가하는 구배를 갖는 흑연-탄화규소 복합 재료층을 갖는 특징으로 하는 탄화규소 피복 흑연 치구 및 그의 제조 방법을 기재하고 있다. 본 발명의 흑연 치구는 흑연-탄화규소 복합 재료층을 가지고 있어 흑연 기재로부터 탄화규소층에 이르기까지 열팽창 계수가 점진적으로 변화하게 되므로 급열 및 급냉의 사용 조건에서 장기간 사용하여도 피복층의 박리 및 균열이 발생하지 않아 우수한 열출격 내성을 나타낸다.
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KIST Patent > ETC
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