직류방전플라즈마화학증착다이아몬드합성방법

Title
직류방전플라즈마화학증착다이아몬드합성방법
Issue Date
1993-11-06
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 직류방전 플라즈마 화학증착 다이아몬드 합성방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법은 가느다란 음극현수봉에 의해 음극으로부터 음극현수장치로의 열전달을 차단하여 음극 전체의 온도가 균일하게 2000℃이상으로 유지되게 하는 한편 음극의 형상을 변형시켜 자체 발열이 증가되도록 하여 플라즈마의 형성을 안정화시킨 가운데 다이아몬드의 합성을 수행하도록 구성되어 있다. 본 발명은 음극 전 체의 온도를 고상탄소의 형성온도 이상으로 균일하게 유지시킴에 의해 플라즈마의 안정화를 기할 수있고, 음극의 탄화에 의한 음극표면층의 벗겨짐(spalling)현상을 방지할 수 있어 음극의 수명을 증가시 킬 수 있는 효과가 있다.
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KIST Patent > ETC
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