판상세라믹발열체

Title
판상세라믹발열체
Issue Date
1993-10-04
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 질화티탄계 저항체와 그 주위에 열팽창계수가 점진적으로 변화하는 질화규소 절연성 기판이 형성되어서 된 판상세라믹 발열체에 관한 것이다. 본 발명의 발열체는 질화규소 분말에 1~18중량%의 소결조제와 열팽장계수 조절제로서 규화몰리브데늄 또는 탄화텅스텐을 20중량% 이하의 범위에서 첨가량을 변화시켜가면서 제조한 여러가지 열팽창계수의 질화규소 테이프를 제조하여, 이들 테이프중 질화티탄 저항체와 비슷한 테이프상에 질화티탄 페이스트를 인쇄 도포한 후 다수매의 테이프를 열팽창계수가 변화되도록 다수매 순차적층한 후, 이 적층성형체에 대해 탈지 →소결 →리드선 부착공정을 행하여 얻어진다. 이와같은 본 발명의 제조 방법을 통해 얻어진 판상세라믹 발열체는 저항체와 절연성 기판 사이의 열팽창계수 차이에 의해 발생되는 열적 피로현상과 이에따른 균열 발생현상이 억제되어 열충격 저항성이 우수하다는 장점이 있다.
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KIST Patent > ETC
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