투명열절연다층박막및그제조방법

Title
투명열절연다층박막및그제조방법
Issue Date
1993-06-03
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 산화물츨/은층/산화물층 형의 샌드위치 구조를 갖는 투명열전연 다층박막에 관한 것이다.본 발명의 투명열절연 다층박막은 플라스틱 재질의 필름이나 유리기판 등의 표면에 스퍼터링 방법을 이용하여 산화물층으로서 산화티타늄박막을 200Å의 두께로 형성시킨 다음 그 위에 은층의 안정화를 위한 중간층으로 크롬박막, 게르마늄박막, 실리콘박막 등을 5~50Å의 두께로 형성시키고, 그 위에 다시 은막을 150Å의 두께로 형성시킨 후 다시 산화티타늄박막을 200Å의 두께로 형성시키는 제조공정을 통해 얻어진다.본 발명은 제조공정이 비교적 간편하고, 본 발명의 방법에 의해 제조된 투명열절연 다층박막은 우수한 내시효특성을 나타낸다.
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KIST Patent > ETC
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