박막백금온도센서의제조방법

Title
박막백금온도센서의제조방법
Issue Date
1993-04-19
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
[구성]박막 증착용 알루미나 기판을 준비하고, 이 기판의 표면을 세척.건조한 다음 여기에 백금을 박막 중착하고, 열처리 및 화학 식각을 행하여 상기 박막상에 써펜타인 형태의 패턴을 형성하고, 이패턴의 양단에 도선을 연결한 다음, 보호막을 코팅하거나 또는유리관 또는 금속관 속에 봉입하는 것을 특징으로 하는 박막 백금 온도 센서의 제조 방법
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KIST Patent > ETC
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