다이아몬드상경질카본필름의접착력증진방법

Title
다이아몬드상경질카본필름의접착력증진방법
Issue Date
1994-01-07
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 공기 또는 산소플라즈마를 이용하여 기판을 세척하여 기판 표면에 잔류하는 오일이나 유기물 등을 제거하고, 아르곤 플라즈마를 이용하여 기판의 표면을 스퍼터링(sputtering)한 후, 본 합성에 들어가기 전에 전이 합성 처리를 행하는 것으로 이루어진 다이아몬드상 경질 카본 필름의 접착력 증진방법에 관한 것이다.
URI
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Appears in Collections:
KIST Patent > ETC
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