다이아몬드상경질카본필름의합성법

Title
다이아몬드상경질카본필름의합성법
Issue Date
1994-01-07
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 기판에 탄소 공급원을 플라즈마 화학 증착하여 다이아몬드상 경질 카본 필름을 합성할 때, 100 KHz 내지 500KHz 대의 고주파 전원과 직류 전원을 중첩시켜 사용함으로써 플라즈마 전류와 기판의 바이어스 전압을 독립적으로 조절하여, 다이아몬드상 경질 카본 필름을 합성하는 방법이 기재되어 있다. 이에 따라 다이아몬드상 경질 카본 필름의 광범위한 구조와 특성 변화를 유도하는 것이 가능하여진다.
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KIST Patent > ETC
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