직류전원플라즈마화학증착법에의한다이아몬드막의합성방법

Title
직류전원플라즈마화학증착법에의한다이아몬드막의합성방법
Issue Date
1993-12-31
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 직류전원 플라즈마 화학증착법을 이용한 다이아몬드막의 고속, 대면적 합성방법에 관한 것이다. 본 발명은 다이아몬드의 고속합성을 위하여 직류전원 플라즈마 화학증착법을 이용하고 대면적합성을 위해 여러개의 음극을 독립적인 직류준원과 연결한 다음극에 의해 양전극 사이에 커다란 크기의 플라즈마를 안정하게 발생 유지시키는데 기술적 특징이 있다. 본 발명에 의한 다이아몬드의 합성시에는 합성속도는 단음극 사용시와 같은 정도의 수십㎛/h의 높은 속도를 얻을 수 있고, 합성면적은 음극의 갯수를 증가시켜 쉽게 증가시킬 수 있어 다이아몬드의 중요한 응용분야인 고열전도성 기판재의 합성이나 적외선투과창등의 다이아몬드 후막합성에 유용하게 이용될 수 있다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > ETC
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE