초전도박막을이용한평면형3단자소자및그제조방법

Title
초전도박막을이용한평면형3단자소자및그제조방법
Issue Date
1993-12-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 소오스, 드레인 및 게이트 전극을 동일 평명 상에 형성할 수 있으며, 고온 초전도 박막을 이용한 마이크로브리지를 전류 채널로 하여 소오스와 드레인을 연결하는 초전도체를 이용한 3단자 전자 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 소자는 소자 제작에 있어서 1회의 고온 초전도 박막 증착과 1회의 광식각 작업 및 1회의 에칭을 필요로 하는 간단한 공정에 의해 제작될 수 있다.
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KIST Patent > ETC
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