다이아몬드합성용고온필라멘트화학증착장치의필라멘트

Title
다이아몬드합성용고온필라멘트화학증착장치의필라멘트
Issue Date
1993-12-24
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학중착장치의 필라멘트에 관한 것이다. 본 발명의 필라멘트는 여러가닥의 텅스텐선을 꼬아 이를 나선형태의 코일로 가공하여 이루어지며, 이와갈은 복선은 필라멘트는 양단부가 전극에 고정되도록 설치된다. 본 발명의 필라멘트는 탄화시 길이방향으로 수축이 일어남에 따라 필라멘트의 변형이나 자중에 의한 처짐이 방지되어 필라멘트가 안정화됨에 따라 장시간에 걸쳐 다이아몬드의 합성이 가능하다.
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KIST Patent > ETC
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