고주파용유전체재료

Title
고주파용유전체재료
Issue Date
1993-05-24
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
용융 온도가 낮고 소결중에 휘발이나 분해 및 주 조성과의 반응성이 낮은 산화붕소나 산화인을 소결 조제로 사용하여 소결 온도가 낮고 유전 특성이 우수하면서도 양산성이 있는 고주파용 유전체 재료를 제조한다.산화지르코늄(ZrO2), 산화주석(SnO2) 및 산화티탄(TiO2)를 0.7:0.3:1.0의 몰비로 하여 이루어진 (Zr,Sn)TiO4계를 기본 조성으로 하고, 소결 조제로 산화붕소(B2O3) 또는 산화인(P2O5)이 0.1-2 중량% 첨가하고, 유전 특성 향상을 위해 산화니켈(NiO)을 0.3-2 중량% 가량 부가적으로 첨가하여 고주파용 유전체 재료를 제조한다. 여기서 소결 조제로 첨가되는 산화붕소나 산화인이 소결 온도를 낮추는 한편 소결 과정에서 소결 조제 성분의 휘발이 일어나지 않기 때문에 우수하고 균일한 유전 특성을 갖는 고주파용 유전체 소자의 대량 생산이 가능하다.
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KIST Patent > ETC
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