화학증착법에의한고순도구리박막의제조방법

Title
화학증착법에의한고순도구리박막의제조방법
Issue Date
1993-03-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
리간드로서 케토 에스테르류를 갖는 유기 구리 화합물을 화학증착법의 전구체로 사용하여 고순도의 구리 박막을 제조하는 방법을 제공한다.기판에 구리 증착을 위한 전구체로 사용되는 유기 구리 화합물의 리간드로서 베타-케토에스테르류가 단독으로 또는 루이스 염기와 함께 사용되며, 이 전구체는 수소 존재하에 또는 부재하에 화학 증착되어, 증착과정중에 유기 리간드 자체가 열분해되지 않으므로 탄소 오염이 없는 순수한 구리 박막을 제조하는 방법이다. 베타-케토에스테르에는 케톤 알킬기의 탄소수가 1 내지 6이고, 에스테르 알킬기의 탄소수가 1 내지 6인 화합물 또는 이들 알킬기가 메톡시 또는 에톡시로 치환된 화합물이 포함되며, 예로서 메틸아세토아세테이트, 에틸아세토아세테이트, t-부틸아세토아세테이트, 벤질아세토아세테이트, 메톡시에틸아세토아세테이트, 에틸벤조일아세테이트 등이 있다. 또 루이스 염기로는 시클로옥타디엔, 2-부틴, 트리메틸비닐실란, 트리메틸포스핀 등이 포함된다.화학증착 공정중에 구리 박막이 탄소 등에 의해 오염되는 단점을 최소화할 수 있으며, 사용되는 전구체는 250도C 이하의 온도에서도 구리 박막을 증착시킬 수 있다는 장점이 있다.
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