우선배향된 금속박막의 산화특성 측정방법

Title
우선배향된 금속박막의 산화특성 측정방법
Issue Date
1995-10-24
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 우선배향된 금속박막의 산화특성 측정방법에 관한 것으로, 종래에는 금속박막의 산화특성 측정시 측정시간이 많이 소요되는 문제가 있었다.본 발명은 측정대상 금속박막의 우선배향된 방향의 X선 피크가 반가폭을 측정하여 금속박막의 산화특성을 경험적으로 예측할 수 있도록 함으로써 측정방법이 간단하고, 측정이 신속하게 이루어지도록 한 것이다.이러한 본 발명의 이론적 배경은 진공증착법, 스파터링법, 화학기상성장법 등으로 성막된 금속박막이 금속조직학적으로 특정방향으로 우선배향된 미세조직을 갖게 되고, 이는 박막의 표면에너지를 낮추려는 경향에 기인한 것으로 통상의 금속박막에서 용이하게 관찰되며, 한편으로 금속박막의 부식은 입계면에서부터 시작되는데 이는 입계면이 다른 결정방향을 갖는 단결정의 계면으로 간주할 수 있어 이에 따라 입계면의 자유에너지가 높아지므로 입계면의 자유에너지가 이웃한 결정의 결정방향의 차가 클수록 커지기 때문에 금속박막 입계면의 결정방향 차를 X선 회절법으로 측정한다면 금속박막의 산화특성을 예측할 수 있다는 것에 근거한 것이다.
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KIST Patent > ETC
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