무패턴기판의결함자동검색장치및그검색방법

Title
무패턴기판의결함자동검색장치및그검색방법
Issue Date
1995-04-14
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 전자회로 패턴이 되어 있지 않고 전자부품 삽입용 홀, 배선용 비아홀 및, 기판 고정용 홀등을 포함하거나 또는 홀을 포함하지 않는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치 및 그 검색방법에 관한 것으로, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없는 독립적인 단일모듈형 검색기로 구성된 자동검색장치를 이용하여 한개 또는 두개의 길고 가는 선형광원으로 기판 표면에 빔을 조사한 후 표면에서의 반사광을 카메라렌즈에 의해 1차원 CCD 영상센서어레이에서 아날로그 영상신호로 변환시키는 제1단계와; 상기 CCD 영상센서어레이에서 출력된 아날로그 영상신호를 비디오 아날로그/디지탈 변환기를 통해 디지탈 신호로 바꾼 후 고속으로 신호를 처리할 수 있는 디지탈신호처리 칩으로 보내는 제2단계와; 상기 디지탈신호처리 칩 내부에서 프로그램과 데이타 메모리를 통해 신호를 처리하는 알고리즘을 구현하고 이것에 의해 검출된 검색결과를 출력표시부에 표시하는 제3단계를 거쳐 무패턴 기판의 결함을 검출하므로써, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없어 제조비용을 절감할 수 있고, 1차원 스캐닝에 의한 광영상화와 신호처리의 고속화 및 실시간 처리가 가능하며, 디지탈 신호처리 칩(digital signal processing chip)을 내장함으로 인해 다양한 결함 유형의 자동검출이 용이하다는 장점을 가지게 된다. 또한 단일모듈에 의한 검색시스템을 광영상화부, 고속영상신호처리부 및, 출력표시부로 구성하여 응용에 따라 각 기능부를 용이하게 조정할 수 있게 되며, 기판의 크기와 검출되어야 하는 결함의 크기에 따라 기판 표면의 영상화 배율 및 다양한 센서수를 갖는 CCD (charge coupled device) 센서어레이를 쉽게 변경할 수 있는 고신뢰성의 무패턴 기판 결함 자동검색장치를 구현할 수 있게 된다.
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