교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법

Title
교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
Issue Date
2002-08-31
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 낮은 자계에서도 높은 민감도를 가진 스핀밸브 브리지 회로 센서에 있어서 출력의 쌍극성과 최대 출력의 향상을 위해서 한 기판 위에 있는 스핀밸브의 각 저항성분에 대한 고정방향을 다르게 처리하는 방법에 관한 것이다.4개의 저항성분 중 2개의 저항성분과 다른 2개의 저항성분의 저항 변화방향을 서로 정반대로 하기 위해, 스핀밸브에서 원하는 고정방향을 증착 중의 자기장 방향에 의해 결정하는 방법을 사용하되, 그 공정을 간단히 하면서 패턴의 재현성 및 신뢰성을 2번의 증착 및 1번의 패터닝만 수행한다.그러므로 본 발명은 종래 브리지센서에 제시된 방법보다 더 간단하면서도 낮은 옵셋을 가지도록 하는 새로운 공정으로서 온칩화 등의 다른 미소 패터닝 공정들과의 결합성과 호환성이 요구되는 공정에 매우 적합하다.스핀밸브, 브리지센서, 자기저항비, 고정방향, 거대자기저항
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2002
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