풀 브리지 특성을 갖는 교환 바이어스형 스핀밸브를이용한 자기센서 제조방법

Title
풀 브리지 특성을 갖는 교환 바이어스형 스핀밸브를이용한 자기센서 제조방법
Issue Date
2002-08-31
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 풀 브리지 특성을 갖는 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법에 관한 것이다. 특히, 낮은 자계에서도 고민감도를 가진 스핀밸브 브리지 센서에 있어서 출력의 쌍극성과 최대 출력의 향상을 위한 스핀밸브 각 저항들의 고정 방향을 처리하는 새로운 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 편평한 기판상에 서로 같은 방향의 고정 방향을 갖도록 R1,R3 저항 성분으로 예정된 부위에 제 1스핀밸브 박막을 형성하는 단계와; 상기 R1,R3 저항 성분의 제 1스핀밸브 박막을 마스크 패턴 및 건식식각하여 제 1미소 패터닝을 형성하는 단계와; 상기 제 1스핀밸브 박막의 고정 방향과 180도 정반대 고정방향으로 R2,R4 저항 성분으로 예정된 부위에 제 2스핀밸브 박막을 형성하는 단계와; 상기 R2,R4 저항 성분의 제 2스핀밸브 박막을 마스크 패턴 및 건식식각하여 제 2미소 패터닝을 형성하는 단계와; 상기 R1,R2,R3,R4 저항 성분의 브리지 회로 연결을 위한 컨택 배선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 교환 바이어스형 스핀밸브를 이용한 자기센서 제조방법이 제시된다.
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KIST Patent > 2002
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