C와 N으로 도핑된 박막형 이산화티탄계 광촉매 및 자성물질과 그 제조 방법

Title
C와 N으로 도핑된 박막형 이산화티탄계 광촉매 및 자성물질과 그 제조 방법
Issue Date
2005-04-27
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
순수한 TiO2의 O가 C와 N으로 치환된 일반식 TiO2-x-δCxNδ로 표시되는 박막형 이산화티탄계 광촉매 및 자성 물질이 제공된다. Ti와 Ar, N2, CO2, CO 및 O2 등의 기체를 사용하여 직류 반응성 스퍼터링에 의하여 TiO2-x-δCxNδ 박막을 형성시키는 공정과 상기 형성된 박막을 500℃ 정도의 온도에서 열처리하여 결정화시키는 공정으로 이루어지는 일반식 TiO2-x-δCxNδ로 표시되는 박막형 이산화티탄계 광촉매 및 자성 물질의 제조 방법이 제공된다. 본 발명에 의한 일반식 TiO2-x-δCxNδ로 표시되는 이산화티탄계 광촉매 및 자성 물질은 순수한 이산화티탄에 비하여 광학적 밴드갭이 작아 가시광 영역에서 광촉매로서 작동하고, 또한 순수한 아나타제 결정상만으로 구성되고, 결정립의 크기가 작기 때문에 광촉매 효율 및 자정 능력이 매우 우수하다.
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KIST Patent > 2005
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