전자빔으로 조절된 분역의 분극방향에 따른 식각속도차이를 이용한 강유전체 나노점의 제작 방법

Title
전자빔으로 조절된 분역의 분극방향에 따른 식각속도차이를 이용한 강유전체 나노점의 제작 방법
Issue Date
2005-04-04
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 전자빔으로 조절된 강유전체 박막의 분역이 분극방향에 따라 식각속도가 다르다는 점을 이용하여 강유전체 나노점을 제작하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 직접 전자빔 조사(direct e-beam writing) 방식을 채용하여 강유전체 나노점 형성과정에서 필수적이라고 여겨지던 ER을 사용할 필요가 없으므로, 강유전체 기억매체의 제작과정이 간단해진다. 또한, ER의 존재 때문에 나빠졌던 전자빔의 분해능이 향상되어 10 nm 이하의 분해능을 가진 식각이 가능해진다.
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KIST Patent > 2005
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