강유전체 나노 튜브 어레이 고밀도 기록 매체

Title
강유전체 나노 튜브 어레이 고밀도 기록 매체
Issue Date
2005-03-24
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 강유전체의 잔류분극을 이용한 나노 스토리지 기록 매체에 관한 것이다. 본 발명의 강유전체 나노 튜브 어레이의 형성 방법은 기판 상의 알루미늄의 표면을 전기연마 처리하는 단계, 표면 처리된 알루미늄 전체 표면을 1차 아노다이징하여 불규칙적인 알루미나 나노 기공을 형성하는 단계, 불규칙적인 알루미나 나노 기공을 제거하는 단계, 알루미늄을 2차 아노다이징하는 단계, 알루미나 나노 기공이 형성된 기판을 졸겔 용액에 침지하여 나노 기공 속으로 졸겔 용액을 충전시키는 단계, 기판을 건조시킨 후 겔 상태의 기판을 열처리한 후 냉각하는 단계, 기판 상부에 부가적으로 형성된 강유전체 상부 박막을 제거하는 단계를 포함한다.
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KIST Patent > 2005
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