산화아연-금속 박막 제조방법

Title
산화아연-금속 박막 제조방법
Issue Date
2006-03-08
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 산화아연 반도체 상에 금속 박막이 적층된 구조를 갖는 자외선 검출기를 제작함에 있어서, 상기 산화아연 반도체와 금속 박막이 쇼트키 접합 특성을 갖도록 하여 광 응답특성이 향상된 산화아연-금속 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 산화아연-금속 박막의 제조방법은 기판 상에 산화아연 단결정 박막을 형성하는 단계와, 상기 산화아연 단결정 박막의 표면에 대해 산소 플라즈마 처리하는 단계와, 상기 산화아연 단결정 박막 상에 금속 박막을 적층하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 산소 플라즈마 처리에 의해 상기 산화아연 단결정 박막과 상기 금속 박막이 쇼트키 접합 특성을 갖는 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > 2006
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