ZnO 나노 결정을 실리콘기판 위에서 직접 제조하는 방법

Title
ZnO 나노 결정을 실리콘기판 위에서 직접 제조하는 방법
Issue Date
2007-01-02
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 ZnO 나노 결정을 실리콘기판 위에서 직접 제조하는 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 Zn-Si-O 복합체 박막을 실리콘기판 위에 형성시키는 단계(S1); 및 상기 형성된 박막을 열처리하는 단계(S2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 ZnO 나노 결정을 실리콘기판 위에서 직접 제조하는 방법에 관한 것이다. 특히, Zn-Si-O 복합체 박막의 조성 및 열처리온도를 조절하여 ZnO 나노 결정을 비정질 Zn-Si-O 복합체 박막 내에 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 ZnO 나노 결정 제조 방법을 이용하면 ZnO 나노 결정을 실리콘기판 위에서 직접 형성시킬 수 있으므로, 실리콘기판을 이용하여 ZnO 나노 결정을 광전소자로 응용할 수 있는 가능성이 향상된다. Zn-Si-O 복합체 박막, ZnO 나노 결정, 스퍼터링, 캐쏘도루미네센스(cathodoluminescence), 광전소자
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2007
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