탄화규소 소결체 제조용 세라믹 조성물, 소결체 및 그제조방법

Title
탄화규소 소결체 제조용 세라믹 조성물, 소결체 및 그제조방법
Issue Date
2008-04-17
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 탄화규소 소결체 제조용 세라믹 조성물, 소결체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 β-SiC 서브마이크론 분말과 β-SiC 나노 분말을 혼합사용하여 탄화규소의 소결성을 현저하게 향상시킬 수 있고, 질화알루미늄과 특정의 금속산화물을 함유하는 소결조제의 함량은 소량으로 줄일 수 있게 되어, 체적비저항 감소와 고온강도의 증가를 동시에 달성할 수 있는 탄화규소 소결체 제조용 세라믹 조성물에 관한 것이고, 상기 조성물을 포함하여 내열성과 전기전도성이 매우 향상됨으로써 고온 구조, 반도체 제조 장치용 부품, 진공장치용 부품 및 반도체 공정용 히터 등의 소재로 유용하게 사용할 수 있는 탄화규소 소결체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2008
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE