금속 스퍼터링을 이용한 전도성필름 제조방법 및 전도성필름

Title
금속 스퍼터링을 이용한 전도성필름 제조방법 및 전도성필름
Issue Date
2009-04-15
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 전도성필름 제조방법 및 전도성필름에 관한 것으로, 상기 전도성필름 제조방법은 탄소나노튜브를 용매에 분산시키는 단계와, 상기 분산액을 기판의 일면에 코팅하여 탄소나노튜브층을 형성하는 단계, 및 금속 스퍼터링을 통하여 상기 탄소나노튜브층의 일면에 금속막을 증착하는 단계를 포함한다. 이에 의하여 본 발명은 광투과성을 유지하면서도 전기전도도가 향상된 전도성필름을 구현한다.
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KIST Patent > 2009
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