ZnO 박막 성장방법 그리고 이를 이용한 박막태양전지

Title
ZnO 박막 성장방법 그리고 이를 이용한 박막태양전지
Issue Date
2010-11-22
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 ZnO 박막 형성시 전구체들의 주입량 비율을 조절하는 것을 통해 박막의 결정 성장방향을 003c#0002003e# 방향에서 003c#1120003e# 방향으로 유도함과 함께 입자크기 및 증착속도를 효과적으로 제어하여 ZnO 박막의 표면 요철 구조의 재현성을 향상시킬 수 있는 ZnO 박막 성장방법 그리고 이를 이용한 박막태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 ZnO 박막 성장방법은 MOCVD(metal-organic chemical vapor deposition) 방법을 이용하여 ZnO 박막을 성장시키며, 전구체는 003c#산소를 포함하는 물질003e#과 003c#아연을 포함하는 물질003e#로 구성되며, 상기 003c#산소를 포함하는 물질003e#과 003c#아연을 포함하는 물질003e#의 주입량의 비율을 변화시켜 ZnO 박막의 결정 성장방향을 003c#0002003e# 방향에서 003c#1120003e# 방향으로 변화시키는 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > 2010
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