입방정계 질화붕소 박막의 증착 방법

Title
입방정계 질화붕소 박막의 증착 방법
Issue Date
2010-03-15
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 기판 상에 입방정계 질화붕소(cBN) 박막을 증착하는 방법에 관한 것으로서, 질소를 함유한 불활성 기체에 수소 기체를 첨가한 혼합 기체 분위기 하에서 물리적 증착을 실시하는 것을 특징으로 하며, 박막 증착시 cBN 함량의 감소나 산화민감성 증가를 억제하면서 박막의 압축잔류응력을 최대한 감소시켜 밀착력이 우수한 박막의 증착이 가능하므로, 본 발명의 증착 방법을 이용하여 제조된 cBN 박막 내마모성 재료는 박리가 일어나지 않으며 경도가 매우 우수하다.
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KIST Patent > 2010
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