금속 산화물 나노선을 갖는 인버터 및 그 제조 방법

Title
금속 산화물 나노선을 갖는 인버터 및 그 제조 방법
Issue Date
2011-03-28
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
인버터는 제1 게이트 전극, 절연막, 절연막 상에 위치하는 제1 나노선, 및 제1 나노선의 양 단부와 각각 접촉하며 서로 이격하는 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극을 포함하는 제1 전계 효과 트랜지스터; 및 제2 게이트 전극, 절연막, 절연막 상에 위치하는 제2 나노선, 및 제2 나노선의 양 단부와 각각 접촉하며 서로 이격하는 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 포함하는 제2 전계 효과 트랜지스터를 포함하며, 제1 나노선과 제2 나노선의 지름은 서로 다르다. 이에 따라, 제1 및 제2 나노선들의 지름을 제어하여 다양한 동작 특성을 갖는 인버터를 쉽게 구현할 수 있다.
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KIST Patent > 2011
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