백래쉬 측정 장치 및 방법

Title
백래쉬 측정 장치 및 방법
Issue Date
2012-08-07
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
백래쉬(backlash) 측정 장치는, 입사된 광을 브래그(Bragg) 회절시키는 단색기; 상기 단색기에 의해 회절된 광이 입사되며, 입사된 광을 브래그 회절시키는 분석기; 상기 단색기 또는 상기 분석기에 연결된 구동부를 제어하여, 상기 단색기 또는 상기 분석기를 제1 방향 및 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 회전시키는 제어부; 및 상기 단색기 또는 상기 분석기가 회전하는 동안 상기 분석기에 의해 회절 또는 투과된 광을 검출하며, 검출된 광을 이용하여 상기 구동부의 백래쉬를 측정하는 검출기를 포함할 수 있다. 상기 백래쉬 측정 장치에 의하면, 중성자광, X-레이 등을 이용하여 백래쉬를 초각 이하(subarcsecond) 또는 나노미터 이하(subnanometer) 단위까지 측정할 수 있다.
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KIST Patent > 2012
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