다이아몬드 고속성장방법 및 장치

Title
다이아몬드 고속성장방법 및 장치
Issue Date
2012-07-02
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 대면적의 다이아몬드를 합성함과 함께 다이아몬드 합성 속도를 증진시킬 수 있는 다이아몬드 고속성장방법 및 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 고속성장방법은 HFCVD(hot filament chemical vapor deposition) 방법을 이용한 다이아몬드 고속성장방법에 있어서, 수소와 탄화수소를 포함하는 전구체 가스의 유량을 제어하여 원자상수소의 농도를 조절함과 함께, 원자상수소에 의해 식각되어 탄소원의 과포화도를 증가시키는 고상 탄소원을 HFCVD 장치의 챔버 내에 구비시키는 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > 2012
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