마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법

Title
마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법
Issue Date
2012-02-22
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV) 광원으로 만들어진 차세대 반도체 공정에서 사용되는 3차원 구조의 마스크 패턴에 존재하는 미세 결함(Defect) 등을 효과적으로 검사할 수 있도록 한 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.또한, 본 발명에 따르면, 광학요소들 예컨대, 광원부, 오목거울, 반사거울 및 CCD 카메라 등을 비평면 즉, 3차원 평면상에 서로 다른 위치로 배치함으로써, CCD 카메라와 측정대상 마스크의 거리를 기존의 현미경보다 더 가깝게 할 수 있으며, 보다 많은 차수의 회절광이 CCD 카메라에 입사하여 기존의 것에 비해 현미경의 분해능을 높일 수 있는 이점이 있다.
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KIST Patent > 2012
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