복합 나노입자의 제조장치 및 제조방법

Title
복합 나노입자의 제조장치 및 제조방법
Issue Date
2012-02-15
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 복합 나노입자의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 제1전구체를 기화시켜 반응부로 공급하는 제1전구체 공급부; 제2전구체를 기화시켜 반응부로 공급하는 제2전구체 공급부; 상기 제1전구체와 제2전구체 기화물을 합성하여 복합 나노입자를 생성하는 반응부; 상기 반응부에 산소 공급원을 공급하는 산소 공급라인; 및 상기 반응부에서 생성된 복합 나노입자를 회수하는 포집부를 포함하고, 상기 반응부는, 상기 제1전구체 공급부에서 공급된 제1전구체 기화물로부터 나노입자를 생성하는 제1직선 유로와, 상기 제1직선 유로와 연통되고, 상기 제1직선 유로에서 생성된 나노입자가 제2직선 유로에 곡선 흐름으로 유입되게 하는 곡선 유로와, 상기 곡선 유로와 연통되고, 상기 곡선 유로에서 유입된 제1전구체의 나노입자와 상기 제2전구체 공급부에서 공급된 제2전구체 기화물을 합성하여 복합 나노입자를 생성하는 제2직선 유로를 가지는 U자형 반응 챔버; 상기 제2전구체 공급부로부터 공급된 제2전구체 기화물을 상기 U자형 반응 챔버의 제2직선 유로에 합류시키는 제2전구체 유입 유로; 및 상기 U자형 반응 챔버에 열을 공급하는 열 공급 수단을 포함하는 복합 나노입자의 제조장치 및 이를 이용한 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, U자형 반응 챔버를 통해 단계별로 기상 합성되어, 응집 현상이 방지되고, 균일한 크기와 고비표면적을 가지는 복합 나노입자를 용이하게 제조할 수 있다.
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KIST Patent > 2012
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