극자외선 발생 및 분광기 캘리브레이션 장치 및 그 방법

Title
극자외선 발생 및 분광기 캘리브레이션 장치 및 그 방법
Issue Date
2014-01-09
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 극자외선 발생 및 분광기 캘리브레이션 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 극자외선 노광기술, 마스크 검사기술에 이용되는 극자외선 광의 스펙트럼의 파장을 정확하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2014
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