마이크로 렌즈 어레이 제조방법

Title
마이크로 렌즈 어레이 제조방법
Issue Date
2013-11-13
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
기초 판과, 상기 기초 판 위로 돌출되는 복수의 마이크로 렌즈를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이를 제조하기 위한 마이크로 렌즈 어레이 제조장치로서, 상기 복수의 마이크로 렌즈의 위치에 대응하는 위치에 복수의 캐비티(cavity)가 형성된 제1 기판 및 상기 제1 기판보다 녹는점이 낮으며, 상기 제1 기판 위에 접합되어 상기 복수의 캐비티를 폐쇄하는 제2 기판을 포함하고, 상기 제2 기판의 녹는점 이상의 온도가 가해져 부피 팽창하는 상기 캐비티 안에 포집된 공기에 의하여 상기 캐비티 위에 위치한 상기 제2 기판의 부분이 볼록하게 부풀어올라 상기 마이크로 렌즈의 형상에 대응하는 돔(dome)을 구성하고, 상기 돔이 형성된 제2 기판을 주형으로 상기 마이크로 렌즈 어레이를 주조하는 마이크로 렌즈 어레이 제조장치가 제공된다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2013
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE