나이오베이트 유전체 조성물 및 이를 사용하는 나노시트 박막

Title
나이오베이트 유전체 조성물 및 이를 사용하는 나노시트 박막
Issue Date
2013-01-29
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 하기 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표시되는 나이오베이트 유전체 조성물 및 이를 사용하는 나노시트 박막을 제공한다. KCa2(1-x)Sr2xNb3O10 (화학식 1)HCa2(1-x)Sr2xNb3O10 (화학식 2)Ca2(1-x)Sr2xNb3O10 (화학식 3)(상기 식에서, x는 0003c#x≤1임)본 발명에 따르면, 높은 유전상수를 유지하면서 매우 낮은 유전손실을 보이며 선형적인 유전 특성을 나타내므로 적층 세라믹 캐패시터, 마이크로파 유전체, 트랜지스터용 게이트, 차세대 TFT의 유전막 등에 사용될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 나노 시트는 나노 레벨에서도 우수한 유전 특성을 가지므로 나노 레벨의 MLCC에 기능성 유전 박막으로 응용될 수 있다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2013
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