헤테로 원자가 포함된 활성탄 촉매를 사용한 하이드로실란의 제조 방법)

Title
헤테로 원자가 포함된 활성탄 촉매를 사용한 하이드로실란의 제조 방법)
Authors
유복렬이동원한준수
Issue Date
2014-10-23
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 헤테로 원자가 포함된 활성탄을 이용한 하이드로실란의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 헤테로 원자가 포함된 활성탄 촉매를 사용하여 염화실란은 재분배 반응시킴으로서 경제적으로 고순도의 하이드로실란을 제조하는 방법에 관한 것이다.
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KIST Patent > 2014
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