Sputter 조건과 열처리온도가 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 영향 .

Title
Sputter 조건과 열처리온도가 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 영향 .
Authors
나종갑조영래장평우이택동
Keywords
투명전도성; ITO 박막; 스파터링; 홀효과; 후 열처리
Issue Date
1987-01
Publisher
새물리
Citation
v. 27, no. 6, 632-637
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/7965
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KIST Publication > Article
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