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환형 실록산 화합물과 불소계 실란 단량체를 혼성화한 재료를 이용한 저유전막 및 이의 제조방법

Author

최승석; 황승상; 백경열; 홍순만; 나종범; 곽순종; 오성연; 알버트 이성수; 박상희; 구종민

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2013-04-22

Registration No.

10-1258561

Application Date

2010-11-30

Application No.

2010-0120356

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/83941

Appears in Collections:

KIST Patent > 2010

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