KIST Library Institutional Repository

유전체 장벽 방전을 이용한 펄스 레이저 증착장치 및 방법 그리고 이에 의해 형성된 금속 산화물 박막

Author

이상렬; 강종윤; 장호원; 임재현

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2010-12-01

Registration No.

10-0999013

Application Date

2008-07-11

Application No.

2008-0067793

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87023

Appears in Collections:

KIST Patent > 2008

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